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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH098122(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950180958 申请日期 1995.06.23
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 IIJIMA MITSUTERU
分类号 H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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