| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH098062(A) |
申请公布日期 |
1997.01.10 |
| 申请号 |
JP19950154601 |
申请日期 |
1995.06.21 |
| 申请人 |
NISSAN MOTOR CO LTD |
发明人 |
HAYAMI YASUAKI;HOSHI MASAKATSU |
| 分类号 |
H01L29/872;H01L21/322;H01L21/337;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/808;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
H01L29/872 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
