发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH098018(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950171383 申请日期 1995.06.14
申请人 TOSHIBA CHEM CORP 发明人 IMAGAWA YASUKO
分类号 H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
地址