发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND POLISHING APPARATUS USED THEREFORE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH097984(A) |
申请公布日期 |
1997.01.10 |
申请号 |
JP19950348394 |
申请日期 |
1995.12.18 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIMURA TAKESHI;ITO HIDEFUMI;TAGUMA YUICHIRO;NAKAGAWA HIDEKI;HONMA YOSHIO;KUSUKAWA KIKUO;MITANI SHINICHIRO |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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