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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING FOREIGN ARTICLE OF SURFACE OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH095250(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950156199 申请日期 1995.06.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 FUKUMOTO HIROBUMI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/66;H01S3/00;(IPC1-7):G01N21/88;G01N23/225;H01L21/306 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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