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发明名称 MANUFACTURE OF MOS FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH098293(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950154571 申请日期 1995.06.21
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 YAMAMOTO KAZUHIRO
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L21/324;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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