发明名称 INSULATION SEPARATION SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH098125(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950148850 申请日期 1995.06.15
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 MATSUI MASAKI;YAMASHITA KAZUYA
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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