发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING SILICA COAT ON SUBSTANCE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH098025(A) |
申请公布日期 |
1997.01.10 |
申请号 |
JP19950174445 |
申请日期 |
1995.06.15 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YAMASHITA TETSURO;MIHASHI TAKESHI |
分类号 |
H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/31 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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