| 发明名称 |
ETCHANT FOR II-VI COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH098013(A) |
申请公布日期 |
1997.01.10 |
| 申请号 |
JP19950156312 |
申请日期 |
1995.06.22 |
| 申请人 |
SHOWA DENKO KK |
发明人 |
TOYODA TAKEHIRO;OKUYAMA MINEO |
| 分类号 |
C23F1/30;H01L21/308;H01L21/467;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
C23F1/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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