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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE BY POLYPHASE AC MULTIELECTRODE DISCHARGE
摘要
申请公布号 JPH097792(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950180792 申请日期 1995.06.23
申请人 TOHOKU UNICOM:KK 发明人 MATSUMOTO KAZUNORI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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