| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH098144(A) |
申请公布日期 |
1997.01.10 |
| 申请号 |
JP19950153387 |
申请日期 |
1995.06.20 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HAYAKAWA HIDEO;WATANABE TOSHIYA |
| 分类号 |
H01L21/761;H01L21/8222;H01L27/082;(IPC1-7):H01L21/822 |
主分类号 |
H01L21/761 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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