发明名称 FLATNESS MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH095059(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950153421 申请日期 1995.06.20
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIOZAWA HISASHI
分类号 G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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