发明名称 APPARATUS FOR DETECTING FINE PARTICLE IN LIQUID AND PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH095228(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950148835 申请日期 1995.06.15
申请人 TOSHIBA CORP;RION CO LTD 发明人 SAKURAI NAOAKI;HAYAMIZU NAOYA;ICHIJO KAZUO;SASAKI KENJI;TASHIRO EISAKU;KONDO IKU;OMOTO YUKIHIRO
分类号 G01N15/14;(IPC1-7):G01N15/14 主分类号 G01N15/14
代理机构 代理人
主权项
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