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发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL WAFER
摘要
申请公布号 JPH097944(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950153519 申请日期 1995.06.20
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 KUNITAKE EIICHI
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/268;H01L21/322;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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