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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH098275(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19960209467 申请日期 1996.08.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OKUMURA KATSUYA
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L29/43;H01L21/320 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
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