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发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH098009(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950174366 申请日期 1995.06.16
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK 发明人 KOSHIISHI AKIRA;INASAWA KOICHIRO;ARAKI YOICHI
分类号 C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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