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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH098148(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950149213 申请日期 1995.06.15
申请人 NEC CORP 发明人 OKABE KAZUHIRO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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