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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH098001(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950153659 申请日期 1995.06.20
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 TAKAMIZU KAZUNARI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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