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发明名称 COLD CATHODE GAUGE
摘要
申请公布号 JPH095198(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950175436 申请日期 1995.06.19
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 TAKAGI NOZOMI;NAKAMURA SHIZUO
分类号 G01L21/34;(IPC1-7):G01L21/34 主分类号 G01L21/34
代理机构 代理人
主权项
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