| 发明名称 |
DATA PROCESSING METHOD OF ELECTRIC FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH097963(A) |
申请公布日期 |
1997.01.10 |
| 申请号 |
JP19950175516 |
申请日期 |
1995.06.19 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NAKANO MINORU;UENO MASAAKI;TANAKA KAZUO;AKITA YUKIO |
| 分类号 |
C23C16/52;F27B3/28;F27D19/00;G05D23/19;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
C23C16/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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