发明名称 GENERATING METHOD FOR MOLECULAR BEAM AND MOLECULAR BEAM CELL
摘要
申请公布号 JPH097948(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950154831 申请日期 1995.06.21
申请人 ANELVA CORP 发明人 OGATA HIDEHIRO
分类号 C30B23/06;C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
主权项
地址