| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR WET CHEMICAL PROCESSING OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND OTHER OBJECTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR970000422(B1) |
申请公布日期 |
1997.01.09 |
| 申请号 |
KR19930011022 |
申请日期 |
1993.06.16 |
| 申请人 |
SANTA BARBARA RESEARCH CENTER |
发明人 |
GARWOOD NŒ., GERALD A. |
| 分类号 |
B05C3/109;C23F1/08;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B05C3/109 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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