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发明名称 Transportvorrichtung für Halbleitervorrichtungen
摘要
申请公布号 DE19626611(A1) 申请公布日期 1997.01.09
申请号 DE1996126611 申请日期 1996.07.02
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KIYOKAWA, TOSHIYUKI, KUKI, SAITAMA, JP
分类号 B65G49/07;B65G47/80;G01R31/01;G01R31/28;H05K13/02;H05K13/04;(IPC1-7):H01L21/68;G01R31/26 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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