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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Spaltes zwischen zwei einander gegenüberliegenden Objekten
摘要
申请公布号 DE69123267(D1) 申请公布日期 1997.01.09
申请号 DE19916023267 申请日期 1991.01.22
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUSGU, MASAKAZU, OHTA-KU, TOKYO, JP;SAITOH, KENJI, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G01B11/14;G02B7/28;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G01B11/14;H01L21/00;G03B41/00 主分类号 G01B11/14
代理机构 代理人
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