| 摘要 |
In un procedimento e in un dispositivo per il tiraggio di monocristalli (61) da una massa fusa sotto vuoto o sotto gas protettivo (figura 1) è previsto un crogiolo (14, 28), che è disposto in una camera sotto vuoto ed è riscaldabile dall'irraggiamento termico di elementi riscaldanti, essendo disposto al di sopra della massa fusa situata nel crogiolo un elemento di tiraggio, con il quale il monocristallo (61) è estraibile verso l'alto dalla superficie della massa fusa e in cui, inoltre, nella camera sotto vuoto è supportato un tubo di alimentazione (23), attraverso il quale il materiale della carica è rabboccabile da un dispositivo di ricarica (75, 76) nel crogiolo (14, 28) con un trasportatore durante il processo di tiraggio. Sensori o apparecchi di misura (80, 65) immettono in continuazione i parametri caratteristici del processo di tiraggio di cristalli come segnali di ingresso in un regolatore (74) nel quale è implementato un Fuzzy-Prozessor, e il quale emette il segnale di regolazione per il trasportatore. |
