| 发明名称 |
Process for the fabrication of a structural and optical element |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2271087(B) |
申请公布日期 |
1997.01.08 |
| 申请号 |
GB19930014993 |
申请日期 |
1993.07.20 |
| 申请人 |
* BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
HELMUT * RUDIGIER;JOHANNES * EDLINGER |
| 分类号 |
B01J19/00;B01J19/08;C03C17/23;C03C17/34;C23F4/00;C23F4/04;G02B5/20;G03F7/00;H01L21/311;(IPC1-7):G03F1/08 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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