| 发明名称 |
Semiconductor etching process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0614214(B1) |
申请公布日期 |
1997.01.08 |
| 申请号 |
EP19940301114 |
申请日期 |
1994.02.16 |
| 申请人 |
NORTHERN TELECOM LIMITED |
发明人 |
OJHA, SURESHCHANDRA MISHRILAL;CLEMENTS, STEVEN JOHN |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/302;H01L21/306;H01L29/205;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/20;H01S5/22;(IPC1-7):H01L21/306;H01L33/00 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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