| 发明名称 |
LOW TEMPERATURE OXIDE LAYER OVER FIELD IMPLANT MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0589674(A3) |
申请公布日期 |
1997.01.08 |
| 申请号 |
EP19930307456 |
申请日期 |
1993.09.21 |
| 申请人 |
SILICONIX INCORPORATED |
发明人 |
CHANG, MIKE F.;GRASSO, DAVID G.;CHEN, JUN-WEI |
| 分类号 |
H01L21/761;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/761 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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