接触型热卡盘及其制造方法

摘要

一种用于在光刻工艺中快速重复周期性加热和冷却功能的热卡盘，采取一个具有极好热阻特性和在晶片与阳极氧化物层之间有极好附着强度的聚四氟乙烯覆盖层作为防止与晶片接触的阳极氧化物层的分层剥落装置，从而可防止晶片背面受沾污。

主权项

1.一种用于安装和加热晶片的接触型热卡盘，包括：一个形成在上述热卡盘的整个表面上的阳极氧化物层用于使上述晶片和热卡盘绝缘；以及防止分层剥落装置，它在上述阳极氧化物层的整个表面上由聚四氟乙烯形成，用于防止上述阳极氧化物层表面上的分层剥落。