电子电路

摘要

本发明公开了一种绝缘栅型场效应晶体管。其栅极与和它电连接的布线一起由象铝那样的金属形成。通过将栅极作为阳极浸于电解液中，而使之阳极氧化，形成覆盖它的金属氧化物。由于在阳极化处理之前连接的布线上覆盖有合适的有机膜层，因而无氧化铝在其上形成，这样可以通过常规腐蚀，除去连接的布线。

主权项

1.一种电路包括：设在衬底上的栅极，它包括选自下列物质组成的组中的一种材料：铝，钽，添加有硅，铜，钽，钪和钯的铝，它们的合金，以及它们的多层材料；设在所述衬底上的第一布线，它与所述栅极相连并包括所述材料，所述第一布线具有大于所述栅极的宽度；和设在所述衬底上的第二布线，它与所述第一布线相连并包括所述材料，所述第二布线具有大于所述第一布线的宽度。