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发明名称
Improved gas bearing surface using oxygen implanted beryllium
摘要
申请公布号
GB8828631(D0)
申请公布日期
1997.01.08
申请号
GB19880028631
申请日期
1988.12.08
申请人
HONEYWELL INC
发明人
分类号
C23C8/10;C23C14/48;F16C32/06;F16C33/12
主分类号
C23C8/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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