发明名称 Improved gas bearing surface using oxygen implanted beryllium
摘要
申请公布号 GB8828631(D0) 申请公布日期 1997.01.08
申请号 GB19880028631 申请日期 1988.12.08
申请人 HONEYWELL INC 发明人
分类号 C23C8/10;C23C14/48;F16C32/06;F16C33/12 主分类号 C23C8/10
代理机构 代理人
主权项
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