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发明名称
DEVICE FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH093622(A)
申请公布日期
1997.01.07
申请号
JP19950150066
申请日期
1995.06.16
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
NAKAHIGASHI TAKAHIRO
分类号
C23C14/00;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/00
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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