| 发明名称 |
METHOD FOR REGENERATING AND CONTROLLING ETCHING SOLUTION AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH093664(A) |
申请公布日期 |
1997.01.07 |
| 申请号 |
JP19950150239 |
申请日期 |
1995.06.16 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
YAMADA HIROSHI;SUZUKI KATSUMI;HIROSE SHIGEKATSU |
| 分类号 |
C23F1/46;(IPC1-7):C23F1/46 |
主分类号 |
C23F1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
