发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TREATING SEMICONDUCTOR WAFERS |
摘要 |
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申请公布号 |
US3489608(A) |
申请公布日期 |
1970.01.13 |
申请号 |
USD3489608 |
申请日期 |
1965.10.26 |
申请人 |
KULICKE & SOFFA IND. INC. |
发明人 |
BERNARD JACOBS;FREDERICK W. KULICKE JR.;RICHARD D. PRICE |
分类号 |
B05D1/02;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/08 |
主分类号 |
B05D1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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