发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TREATING SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 US3489608(A) 申请公布日期 1970.01.13
申请号 USD3489608 申请日期 1965.10.26
申请人 KULICKE & SOFFA IND. INC. 发明人 BERNARD JACOBS;FREDERICK W. KULICKE JR.;RICHARD D. PRICE
分类号 B05D1/02;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/08 主分类号 B05D1/02
代理机构 代理人
主权项
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