发明名称 INNER CIRCUMFERENCE CUTTING EDGE GRINDING WHEEL
摘要
申请公布号 JPH091462(A) 申请公布日期 1997.01.07
申请号 JP19950147833 申请日期 1995.06.14
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 TAKAHASHI TSUTOMU;TAKAOKA NORIYUKI
分类号 B24B9/00;B24D3/06;B24D5/12;H01L21/304;(IPC1-7):B24D5/12 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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