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发明名称 Integrierte Schaltung
摘要
申请公布号 DE19528733(C1) 申请公布日期 1997.01.02
申请号 DE19951028733 申请日期 1995.08.04
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 EWALD, MICHAEL, 85540 HAAR, DE
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66;H01L27/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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