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发明名称 In-process film thickness monitoring system
摘要
申请公布号 EP0710830(A3) 申请公布日期 1997.01.02
申请号 EP19950117167 申请日期 1995.10.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SHIOKAWA, AKIRA;YASUI, HIDEAKI;KOTERA, KOICHI;MUKAI, YUUJI;TANAKA, HIROYOSHI;HIRAO, TAKASHI
分类号 C23C14/54;G01N21/31;(IPC1-7):G01N21/31 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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