发明名称 CO-IMPLANTATION OF ARSENIC AND PHOSPHORUS IN EXTENDED DRAIN REGION FOR IMPROVED PERFORMANCE OF HIGH VOLTAGE NMOS DEVICE
摘要
申请公布号 EP0750794(A1) 申请公布日期 1997.01.02
申请号 EP19960902685 申请日期 1996.01.11
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 DEMIRLIOGLU, ESIN, K.;EL-DIWANY, MONIR, H.
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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