一种可控电弧蒸发加速器

摘要

本实用新型是真空气相沉积技术中一种可控电弧蒸发加速器，由靶体，弧电源，靶室，磁场线圈，绝缘密封圈和真空室组成。靶室由可加长的圆筒状非导磁材料构成，靶室一端密封，该端内放置靶体，另一端通过密封圈与真空室连接，靶室外有磁场线圈，该线圈与靶体电气串联，由电弧电源供电，本实用新型具有显著降低液滴而又不影响沉积速率，电弧过程非常稳定，结构简单，成本低，节能，实用等优点。

主权项

一种可控电弧蒸发加速器由普通或可控型靶体，弧电源，靶室，磁场线圈，绝缘密封圈和真空室组成，其特征在于靶室由可加长的圆筒状非导磁材料构成，靶室一端密封，该端内放置靶体，另一端通过密封圈与真空室连接，靶室外有磁场线圈，该线圈与靶体电气串联，由电弧电源供电。