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发明名称 Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Bauteile.
摘要
申请公布号 CH687571(A5) 申请公布日期 1996.12.31
申请号 CH19920002972 申请日期 1992.09.23
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 RIEDINGER, FRANZ;TRAH, HANS-PETER, DR.;SCHMIDT, STEFFEN
分类号 C23F1/02;B81C1/00;C30B33/00;G03F9/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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