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发明名称 Method for depositing thin film on substrate by sputtering process
摘要
申请公布号 EP0476652(B1) 申请公布日期 1996.12.27
申请号 EP19910115942 申请日期 1991.09.19
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 INOUE, MINORU
分类号 C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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