发明名称 Procedure for controlling the emission current of an electron source and electron source with emission current control
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Regelung des Emissionsstromes einer Elektronenquelle und eine entsprechend geregelte Elektronenquelle. Dafür ist im Hochspannungskreis zwischen der Kathode (1) und der Steuerelektrode (2) eine Parallelschaltung aus Widerständen (6) und Feldeffekt-Transistoren (7) vorgesehen, wobei die Versorgungsspannung für die Feldeffekt-Transistoren (7) durch Spannungsteilung der über den Widerständen (6) abfallenden Spannung erzeugt wird. Die Messung des Emissionsstromes erfolgt auf Niederspannungspotential und ein aus dem Meßsignal gewonnenes Steuersignal wird optisch über eine Lichtleitfaser oder einen Lichtwellenleiter an den Regelkreis im Hochspannungsteil übertragen. Die Emissionsstromregelung kommt ohne zusätzliche Spannungsversorgungen auf Hochspannungspotential aus. Zusätzliche Isoliertransformatoren sind deshalb nicht erforderlich. <IMAGE>
申请公布号 EP0750332(A2) 申请公布日期 1996.12.27
申请号 EP19960108482 申请日期 1996.05.28
申请人 CARL ZEISS 发明人 HAERLE, RAINER
分类号 H01J37/06;H01J37/24;H01J37/244;H01J37/248;(IPC1-7):H01J37/24 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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