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发明名称 ENCLOSED SEALABLE SEMICONDUCTOR WAFER HOLDER
摘要
申请公布号 EP0749393(A1) 申请公布日期 1996.12.27
申请号 EP19940922053 申请日期 1994.06.29
申请人 EMPAK INC. 发明人 HOLLIDAY, JAMES, E.;GALLAGHER, GARY, M.
分类号 B65D85/00;B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/30;A47G19/08;A47G29/00;B65B1/04;B65B3/04;B65B21/02;B65B69/00;B05C13/00;B05C13/02;B05C21/00 主分类号 B65D85/00
代理机构 代理人
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