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发明名称
摘要
申请公布号
JP2566661(B2)
申请公布日期
1996.12.25
申请号
JP19900102637
申请日期
1990.04.18
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
UESUGI FUMITO
分类号
H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
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