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发明名称
摘要
申请公布号 JP2521624(Y2) 申请公布日期 1996.12.25
申请号 JP19910039286U 申请日期 1991.03.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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