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发明名称 HIGH-PURITY GRAPHITE MEMBER FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH08337493(A) 申请公布日期 1996.12.24
申请号 JP19950148737 申请日期 1995.06.15
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 ARAHORI TADAHISA
分类号 C30B15/10;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/10 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
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