| 发明名称 |
THIN FILM FORMATION AND THIN FILM FORMING DEVICE USED FOR THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08337872(A) |
申请公布日期 |
1996.12.24 |
| 申请号 |
JP19950147131 |
申请日期 |
1995.06.14 |
| 申请人 |
DAINIPPON PRINTING CO LTD |
发明人 |
ASANO MASAAKI |
| 分类号 |
C23C14/32;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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