| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING TITANIUM NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08337875(A) |
申请公布日期 |
1996.12.24 |
| 申请号 |
JP19960005239 |
申请日期 |
1996.01.16 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRON IND CO LTD |
发明人 |
JIYON TAE KIMU;SAN BO HOWAN |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C16/34;C23C16/56;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C16/34 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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