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发明名称 FORMATION OF ALUMINUM THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH08339973(A) 申请公布日期 1996.12.24
申请号 JP19950168341 申请日期 1995.06.09
申请人 NEC CORP 发明人 SUGAI KAZUMI
分类号 C23C16/20;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
主权项
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