| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR EVALUATING CONTAMINATION OF ORGANIC SUBSTANCE ON SURFACE OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08338822(A) |
申请公布日期 |
1996.12.24 |
| 申请号 |
JP19950171373 |
申请日期 |
1995.06.13 |
| 申请人 |
TAKASAGO THERMAL ENG CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI HIDETO;SAKATA SOICHIRO;SATO KATSUMI |
| 分类号 |
G01B11/00;F24F7/00;G01N13/00;G01N13/02;G01N27/04;G01R27/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01N27/04 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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